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开发实例
1、航天部304研究所采用了1104A型纵向塞曼双频激光头和1212A型直线度干涉仪,用于30米长导轨的直线度测量
2、中国国家计量科学院采用了1102A型横向塞曼低频差双频激光器,用于研制共焦显微镜电子掩模板测量系统(国家标准)
3、高测速干涉仪用于测量青岛前哨坐标测量机在工作台高速运行情况下的测量误差
4、中科院电工所采用了PT-1002A型双轴平面镜干涉仪,用于电子束曝光机的研制和生产
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